High rate magnetron sputter deposition of thin Al oxide and Mo oxide films
Författare
Summary, in English
Abstract to be added
Publiceringsår
1997
Språk
Engelska
Dokumenttyp
Licentiatavhandling
Förlag
Uppsala universitet
Ämne
- Other Engineering and Technologies not elsewhere specified
- Social Sciences Interdisciplinary
Status
Published
Handledare
- Claes Göran Granqvist