Webbläsaren som du använder stöds inte av denna webbplats. Alla versioner av Internet Explorer stöds inte längre, av oss eller Microsoft (läs mer här: * https://www.microsoft.com/en-us/microsoft-365/windows/end-of-ie-support).

Var god och använd en modern webbläsare för att ta del av denna webbplats, som t.ex. nyaste versioner av Edge, Chrome, Firefox eller Safari osv.

Diffusion barrier layer and method for manufacturing a diffusion barrier layer using PECVD technology

Other contributions

  • Maryam Olsson
  • H. Tran Quoc
  • Alice Gallissian

Publiceringsår

2005

Språk

Engelska

Dokumenttyp

Patent

Ämne

  • Other Engineering and Technologies not elsewhere specified
  • Social Sciences Interdisciplinary

Status

Published