Webbläsaren som du använder stöds inte av denna webbplats. Alla versioner av Internet Explorer stöds inte längre, av oss eller Microsoft (läs mer här: * https://www.microsoft.com/en-us/microsoft-365/windows/end-of-ie-support).

Var god och använd en modern webbläsare för att ta del av denna webbplats, som t.ex. nyaste versioner av Edge, Chrome, Firefox eller Safari osv.

High-rate dual-target dc magnetron sputter deposition of electromagnetic MoO3

In English

Författare

  • Maryam Olsson
  • Andres Azens
  • Lisen Kullman
  • Claes Göran Granqvist

Summary, in English

Mo oxide films with good electrochromic properties were produced by single-target and dual-target reactive d.c. magnetron sputtering. Dual-target deposition was shown capable of yielding optically functional films at a rate ∼ 20 times higher than that for single-target deposition, which is a result of considerable technical interest.

Publiceringsår

1997

Språk

Engelska

Sidor

117-121

Publikation/Tidskrift/Serie

Thin Solid Films

Volym

295

Issue

1-2

Dokumenttyp

Artikel i tidskrift

Förlag

Elsevier

Ämne

  • Other Engineering and Technologies not elsewhere specified
  • Social Sciences Interdisciplinary

Nyckelord

  • Molybdenum oxide
  • Optical properties
  • Sputtering

Status

Published

ISBN/ISSN/Övrigt

  • ISSN: 0040-6090