Webbläsaren som du använder stöds inte av denna webbplats. Alla versioner av Internet Explorer stöds inte längre, av oss eller Microsoft (läs mer här: * https://www.microsoft.com/en-us/microsoft-365/windows/end-of-ie-support).

Var god och använd en modern webbläsare för att ta del av denna webbplats, som t.ex. nyaste versioner av Edge, Chrome, Firefox eller Safari osv.

A compact CMOS MEMS microphone with 66dB SNR

Författare

  • Jelena Citakovic
  • Per F. Høvesten
  • Gino Rocca
  • Aart van Halteren
  • Pirmin Rombach
  • Lars J. Stenberg
  • Pietro Andreani
  • Erik Bruun

Summary, in English

A microphone system, comprising two differentially-operated MEMS microphones and a CMOS differential amplifier mounted on a common die substrate, has a very small volume of 2.6x3.2x0.865mm3, showing a record-high SNR of 66dB over the 20Hz-20kHz audio band. The system sensitivity is -33.5dB (Vrms/Pa), PSRR is above 55dB, and THD is below 1% for sound pressure levels below 112dB. The current consumption is 120μA from a 1.8V power supply.

Publiceringsår

2009

Språk

Engelska

Sidor

350-351

Publikation/Tidskrift/Serie

[Host publication title missing]

Volym

52

Dokumenttyp

Konferensbidrag

Ämne

  • Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering

Nyckelord

  • integrated
  • microphone
  • CMOS
  • MEMS

Conference name

IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC), 2009

Conference date

2009-02-08 - 2009-02-12

Conference place

San Francisco, United States

Status

Published

Forskningsgrupp

  • Data converters & RF

ISBN/ISSN/Övrigt

  • ISSN: 0193-6530