High-rate reactive magnetron sputter deposition and characterization of metal oxide films
Författare
Summary, in English
to be added
Publiceringsår
2000
Språk
Engelska
Dokumenttyp
Doktorsavhandling
Förlag
Uppsala University
Ämne
- Other Engineering and Technologies not elsewhere specified
- Social Sciences Interdisciplinary
Status
Published
Handledare
- Claes Göran Granqvist
ISBN/ISSN/Övrigt
- ISBN: 91-554-4683-3
Försvarsdatum
5 april 2000
Försvarstid
00:09
Försvarsplats
Uppsala University, Ångström laboratory
Opponent
- William Westwood (Consultant)